半導(dǎo)體潔凈車間 AMC 管控、冷媒泄漏監(jiān)測長期面臨多項難題：

1. 傳統(tǒng) GC-MS 等設(shè)備需色譜分離、樣品前處理，檢測滯后，無法捕捉瞬時微量泄漏與突發(fā)工藝污染；

2. 常規(guī)儀器檢出限不足，難以精準識別 ppt 級微量 AMC 污染物，高濕、高純工藝氣體基體下檢測穩(wěn)定性差；

3. 單臺設(shè)備組分覆蓋有限，無法同步檢測 VOC、硅氧烷、各類冷卻劑等多類雜質(zhì)；

4. 操作繁瑣，依賴專業(yè)人員值守，難以實現(xiàn)車間 24h 不間斷在線無人監(jiān)測。

針對上述行業(yè)痛點，SIFT-MS （選定離子流動管質(zhì)譜儀）依托選定離子流動管質(zhì)譜核心技術(shù)，跳出傳統(tǒng)色譜的檢測框架，可在復(fù)雜氣體基體中實現(xiàn)揮發(fā)性有機物及關(guān)鍵工藝相關(guān)氣體的實時定性與定量。

與傳統(tǒng)分析技術(shù)(如GC-MS、FTIR、CRDS)形成互補：SIFT-MS用于連續(xù)在線監(jiān)測與多組分快速篩查，傳統(tǒng)技術(shù)用于復(fù)雜體系確證與深度分析。該組合有效突破半導(dǎo)體制造中對實時性、多組分檢測及低濃度污染物識別的限制，構(gòu)建面向AMC監(jiān)測、冷卻劑泄漏預(yù)警及工藝異常診斷的高效分析體系。

??快速檢測｜秒級響應(yīng)，連續(xù)在線

免去色譜分離步驟，秒級出數(shù)據(jù)、全天候連續(xù)監(jiān)測；支持多路多點采樣、高頻掃描，精準捕捉瞬時污染、早期微量冷媒泄漏。

??操作簡便｜直接進樣，適配多基體

氣體樣品直接進機，無需濃縮、轉(zhuǎn)化等前處理；兼容潔凈室空氣、大宗工藝氣體、特種高純氣體等復(fù)雜工況基體。

??超高靈敏｜ppt 級檢出，抗干擾穩(wěn)定

自動化多試劑離子智能切換，最低檢出限可達 ppt 級別，車間高濕、復(fù)雜雜質(zhì)背景環(huán)境下，數(shù)據(jù)依舊穩(wěn)定可靠。

??組分全面｜多物質(zhì)同步篩查

單機同步檢測全品類目標物：AMC 污染物（VOC、硅氧烷、無機雜質(zhì)）、各類冷卻劑（HTF7300、Galden、R407c 等）、制程工藝釋放氣體。

附加亮點：整機全流程自動化，一鍵啟動運行，可長期無人值守在線監(jiān)測。

1、潔凈室AMC多點位定位監(jiān)測

最遠覆蓋 200 米、支持 32 點位輪巡，7×24h 不間斷運行；秒級預(yù)警突發(fā)污染，數(shù)據(jù)可視化報警，符合 SEMI S2/S8 規(guī)范，設(shè)備稼動率高、維保工作量少。

2、潔凈室AMC移動式排查檢測

機身便攜可移動，快速鎖定污染源、挽回制程良率；自帶內(nèi)置氣源與剎車裝置，續(xù)航 1.5h，現(xiàn)場即時出檢測數(shù)據(jù)，合規(guī) SEMI 安全標準。

3、大宗、特氣雜質(zhì)檢測

對 N?、O?、Ar 等基體氣體無干擾，適配三氟化氮（ NF3）、二氧化碳（CO2）、氬氣（ Ar）、潔凈干燥空氣（CDA）、氫氣（ H2）、氖氣（ Neon）、一氧化氮（NO）等多種工藝用氣，精準檢測氣體內(nèi) ppt 級微量雜質(zhì)。

4、可檢測污染物品類

全覆蓋四類關(guān)鍵管控物質(zhì)：PFAS 含氟冷媒、硅系雜質(zhì)、含硫有機物、含磷有機物，適配半導(dǎo)體全品類 AMC 管控需求。

立足半導(dǎo)體精密制造嚴苛管控需求，SIFT-MS （選定離子流動管質(zhì)譜儀） 以秒級快檢、免前處理、ppt 級高靈敏、全組分同步監(jiān)測的硬核實力，破解傳統(tǒng)監(jiān)測滯后、靈敏度不足、運維繁瑣等行業(yè)痛點。全自動化無人值守的運行模式，全方位守護潔凈車間空氣品質(zhì)與設(shè)備安全，是半導(dǎo)體 AMC 管控、冷媒泄漏預(yù)警、工藝異常診斷的優(yōu)選監(jiān)測解決方案，助力工廠精細化氣體質(zhì)量管理，筑牢生產(chǎn)品質(zhì)防線。